Semiconductor Metrology & Inspection

Sensing the Unseen
Designing the Next

공정과 함께 진화하는 계측을 만듭니다. 측정 장비 SM05와 분석 앱 MyDataScience로 측정에서 분석까지 한 흐름으로 연결합니다.

Smart Data Science

MyDataScience

데이터를 모으고, 분석하고, 측정하고, 자동화하는 내 코드를 직접 만들어 보며 배우는 데스크탑 워크스페이스. 만든 코드는 .mpy 파일 하나로 남들과 주고받습니다.

  • · 수집 · 분석 · 측정 · 자동화를 한 앱에서
  • · EDA · 통계 · 머신러닝 · 신호처리를 클릭과 코드로
  • · .mpy 공유로 올리고, 써보고, 평가하기

.mpy 공유에서 바로 받아 쓸 수 있는 코드

Smart Metrology

SM05

측정하고, 판정하고, 분석까지. 분광 간섭 박막 계측과 데이터 분석을 하나로 묶은 SDSL의 Smart Metrology 시스템입니다.

01

IR · UV 이중 대역 분광 간섭

두 파장 대역의 광경로차(OPD)를 함께 측정해, 다층 박막의 두께 변화와 조성 변화를 한 평면 위에서 구분합니다.

02

다중 프로브 매칭

같은 막을 재는 여러 프로브의 오프셋·재현성·수직잔차를 나눠 보고, 보정으로 해결되는 차이와 H/W 점검이 필요한 이상을 가려냅니다.

03

분석까지 한 흐름으로

측정 데이터 판정 로직을 MyDataScience 라이브러리로 제공해, 엔지니어 PC 어디서나 같은 방법으로 같은 결과를 얻습니다.

Optical Metrology

SE · Raman · Polarization

Non-Optical Metrology

Ultrasonic · Air Pressure

Smart Metrology

AI · Process Data

Smart Data Science

MyDataScience

Get Started

측정에서 분석까지, 함께 설계합니다.

SM05 도입, 계측 데이터 분석, MyDataScience 활용 — 무엇이든 SDSL 팀에 알려 주세요.