솔루션

핵심 기술

SDSL의 솔루션은 네 가지 기술 축 위에 구축됩니다. 각 기술은 독립적으로 운용되거나, 통합 계측 플랫폼으로 결합됩니다.

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Optical Metrology

광학 기반 계측 기술로 공정 진단의 정밀도와 속도를 동시에 확보합니다.

• Spectroscopic Ellipsometry 기반 박막 두께·광학상수 공정 진단
• Raman Spectroscopy 기반 소재 특성 및 응력 공정 진단
• Polarization Alteration 기반 미세 Defect 광학 검사

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Non-Optical Metrology

광학이 도달하지 못하는 영역을 비광학 물리량으로 계측합니다.

• Ultrasonic Wave 기반 내부 구조 검사 및 표면 측정
• Air Pressure 기반 비접촉 표면 측정

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Smart Metrology / AI

계측 데이터에 AI를 결합하여 공정 변동성을 실시간으로 관리합니다.

• 계측 신호의 자동 분류 및 이상 감지
• 공정 파라미터와 계측 결과의 상관 분석
• 반복 실험 데이터 기반 모델 고도화

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Smart Data Science SW

계측 데이터의 전 주기를 관리하는 소프트웨어 플랫폼입니다.

• 다채널 계측 데이터 수집 및 전처리
• 분석 결과의 시각화 및 리포팅
• 장비 간 데이터 정합성 관리

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장비 솔루션

Optical Inspection System 광학 계측 원리를 기반으로 설계된 검사 장비입니다. 공정 라인에 최적화된 구성으로 공급됩니다.

In-line Monitoring Module 공정 중 실시간 계측이 가능한 인라인 모니터링 모듈입니다. 기존 장비와의 연동을 지원합니다.

Custom Measurement Platform 고객 공정 환경에 맞춰 설계하는 맞춤형 계측 플랫폼입니다. 모듈 조합으로 최적 사양을 구성합니다.

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소프트웨어 솔루션

Data Mining Platform 공정 및 계측 데이터를 통합 수집하고 패턴을 분석하는 데이터 마이닝 플랫폼입니다.

Spectral Analysis Tool 분광 데이터를 처리하고 해석하는 전문 분석 툴입니다. Ellipsometry, Raman 등 다양한 광학 신호를 지원합니다.

AI 기반 공정 최적화 솔루션 계측 데이터와 AI 모델을 결합하여 공정 조건을 자동으로 최적화합니다.

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적용 분야

분야	주요 적용
Semiconductor Fab	전공정 박막·패턴 계측, Defect 검사
MEMS Fab	미세 구조물 치수 측정 및 공정 모니터링
Advanced Packaging	HBM, TSV, Interposer 계층 계측
Thin Film Engineering	다층 박막 두께·광학 특성 분석
소재 분석	신소재 표면·물성 계측
Research Institute	실험 기반 계측 솔루션 개발 지원

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